408L線性快速溫變試驗箱

半導體級快速溫變試驗箱的關鍵特性

用于半導體可靠性測試的快速溫變試驗箱必須符合以下嚴苛要求：必須具備很高的溫變速率、出色的溫度均勻性與穩定性、精準的溫度控制以及優異的長 期運行可靠性

規格參數：

一、適用范圍：

1. 溫度：-70℃至150℃。

2. 濕度：20%至98%RH。

二、表頭控制精度：

1. 溫度：±0.3℃

2. 濕度：±2.5%RH

三、表頭解析精度：

1. 溫度：0.1℃

2. 濕度：0.1%RH

四、加溫時間： 常溫至150℃，約45分鐘。

五、降溫時間： 常溫至- 40℃，約60分鐘。

.

408L線性快速溫變試驗箱

六、機器結構與材質：

3. 內箱材質：SUS＃304耐熱耐寒不銹鋼板。

4. 外箱材質：SUS＃304高張力不銹鋼板，并經多道薄膜游離層表面處理。

5. 保溫材質：高密度玻璃棉及高強度PU發泡絕緣材料。

6. 防汗機件：以系統K型管之熱能作防汗處理。

7. 門氣密材料：高張力parking耐溫-90至280℃。

8. 附屬設備：

a. 可調式活動盤2只，可任意改變距離。

b. 外接用測試孔乙只，可作動態測試。

c. 廣角投射照明設備，采省電高效率日光燈。

d. 多層真空玻璃視窗，防爆型。

e. 附可調固定軸及活動輪4組。

七、冷凍系統及加熱系統：

1. 省電型高效率法國泰康壓縮機。

2. 采環保R404A冷煤。

3. 全程管路系統氮氣加壓測漏。

4. 波浪狀鰭片型強迫送風冷凝器。

5. 斜率式F I N —T U B E蒸發器。

6.電磁閥；干燥過濾器等冷凍元件。

7. 內螺旋式K —T Y P E冷媒銅管。

8. U —T Y P E高速電熱管，加熱迅速。

9.加溫、降溫系統*獨立，不需手動控制

1. 高線性溫變速率與精準控制

半導體HALT和TCT測試的核心是快速、精確地達到目標溫度并維持。溫變速率不足會延長測試周期，降低效率；溫度控制不精準則可能導致測試結果失真或無法復現。

廣皓天TEE-408PF通過優化的制冷/加熱系統設計（如復疊式制冷、高效加熱器）和控制算法，可實現≥15℃/min的線性溫變速率（具體速率范圍視型號和溫度跨度而定）。其溫度控制精度可達±0.5℃，溫度均勻性在空載狀態下可達±2.0℃，確保測試腔內各點溫度高度一致，為可靠性評估提供可信的基礎。其溫度傳感器（通常是高精度Pt100）和快速響應的控制回路是實現精準控溫的關鍵。

2. 溫度均勻性與穩定性

半導體器件，尤其是晶圓級或板級測試時，對測試腔內的溫度均勻性要求很高。不均勻的溫度場會導致被測器件（DUT）各部分應力不同，影響失效判據的準確性。

廣皓天TEE-408PF采用優化的風道設計（如多面出風、特殊導流結構）和強力循環風機，確保在高速溫變過程中仍能維持優異的溫度均勻性（如±2.0℃ @ -70℃）。其腔體保溫材料（如高性能玻璃棉）和密封結構有效減少冷熱損失，保證溫度穩定性。即使在達到目標溫度后，也能快速穩定，減少“過沖"或“欠調"現象。

3. 高可靠性與耐久性

半導體可靠性測試往往是長時間、高強度的連續運行（如數百甚至上千次溫度循環）。設備的可靠性直接關系到測試計劃的執行和結果的有效性。

廣皓天TEE-408PF的關鍵部件（壓縮機、加熱器、風機、控制系統）均選用工業級或更高標準的品牌元器件，經過嚴格篩選和老化測試。其結構設計注重維護便捷性（如易于更換的過濾器、模塊化設計）和運行保護（多重安全報警：超溫、過流、風機故障、制冷系統高低壓保護等）。堅固耐用的不銹鋼內膽能抵抗頻繁熱脹冷縮應力和測試環境可能的化學腐蝕（如某些助焊劑蒸汽）。TEE-408PF的設計旨在滿足7x24小時連續高負荷運行的要求。

4. 滿足潔凈度與低干擾要求（可選/特定需求）

對于某些敏感器件或特定測試（如晶圓級老化），試驗箱內部的顆粒污染或揮發物（來自保溫材料、密封件、潤滑油等）可能對被測器件造成污染或干擾電性能測試。

廣皓天可提供滿足更高潔凈度要求的TEE-408PF配置選項，例如：
* 低揮發物材料： 使用經過特殊處理的低釋氣（Low Outgassing）密封材料和保溫層。
* 高效空氣過濾： 在循環風路中增加高效微粒空氣（HEPA）過濾器，有效降低腔體內顆粒物濃度。
* 密封性優化： 增強腔體密封，減少外部污染物侵入和內部材料揮發物逸出。
* 無硅油設計考量： 雖然試驗箱本身不像注射器直接接觸藥物，但若需杜絕硅油揮發物風險（某些特殊應用場景），可在選材和潤滑方案上針對性設計（如使用特定合成潤滑脂或干式運行設計），這需要與制造商明確需求。